測量裝置的安裝與維修方便，適合要求推力不大的場合。

   雙電動機(jī)驅(qū)動布局方式的特點是，合成推力大、兩導(dǎo)軌間的跨距較大、工作臺受電磁吸力的變形較大、對工作臺的剛度要求較高、哈默納科雙極驅(qū)動諧波SHF-32-30-2UH安裝也較困難、測量與控制也較復(fù)雜，故只適用于特殊場合。

   單電動機(jī)驅(qū)動布局方式的特點是，結(jié)構(gòu)簡單、工作臺兩導(dǎo)軌間的跨距較小、測量裝置的安裝與維修方便，適合要求推力不大的場合。

   雙電動機(jī)驅(qū)動布局方式的特點是，合成推力大、兩導(dǎo)軌間的跨距較大、工作臺受電磁吸力的變形較大、對工作臺的剛度要求較高、安裝也較困難、測量與控制也較復(fù)雜，故只適用于特殊場合。

   垂直布局方式均為雙電動機(jī)驅(qū)動，它可抵消直線電動機(jī)的吸力對工作

臺的影響。此外，該布局方式還具有推力大、哈默納科雙極驅(qū)動諧波SHF-32-30-2UH工作臺垂直變形小、工作載荷對電動機(jī)的初級與次級間的間隙影響小和運(yùn)動精度高等優(yōu)點，故適用于載荷較大的高速運(yùn)動場合。雙電動機(jī)驅(qū)動的垂直布局方式又可分為外垂直安裝與內(nèi)垂直安裝;兩種方式。前者可保證導(dǎo)軌間的跨距較小，電磁吸力產(chǎn)生的彎矩與重力引起的彎距方向相反，這樣可抵消一部分工作臺的彎曲變形，對初級與次級間的間隙影響也較小